真空气体回收装置的基本原理

回收

首先使用真空泵对气体回收装置抽真空到133Pa以下，接着启动冷冻机组，温度达到5-10℃时启动压缩机。然后设备气室中的SF6气体被抽出，经过压缩、冷凝、过滤、干燥进入储罐。在储罐中冷冻形成液态后保存。

充气

首先使用真空泵对设备气室抽真空至133Pa以下，待设备气室内真空度保持稳定30分钟后，调节减压阀到0.1-0.7MPa左右（根据气室要求），打开回充阀，贮存罐中的液态SF6气自动减压并汽化回充入设备气室中，待设备气室压力达到规定值时视为完成。